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多功能阵列式触觉传感器的研究

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摘要

介绍了一种以MEMS技术制作的可定量获取三维接触力信息的4×8阵列触觉传感器的结构与工艺,提出一种新颖的三维接触力信息的获取与处理方法,并给出了实现接触、分布压、接触总力、滑动状态等多种功能的实验结果和主要的技术指标.

著录项

来源
《高技术通讯》 |2000年第3期|53-56|共4页
作者
梅涛; 戈瑜; 倪礼宾; 陈效肯; 陈永; 倪林; 马军; 申飞;
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作者单位

中国科学院合肥智能机械研究所,北京,230031;

中国科学院合肥智能机械研究所,北京,230031;

中国科学院合肥智能机械研究所,北京,230031;

中国科学院合肥智能机械研究所,北京,230031;

中国科技大学合肥高等研究院,合肥,230026;

中国科技大学合肥高等研究院,合肥,230026;

中国科技大学合肥高等研究院,合肥,230026;

中国科技大学合肥高等研究院,合肥,230026;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
阵列触觉传感器; 结构; 传感信息采集;

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