单锚点支撑式硅微谐振式加速度计

摘要

本发明公开了一种单锚点支撑式硅微谐振式加速度计，包括下层玻璃基底，在下层玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层，在玻璃基底和引线层上设有键合层，通过键合层把硅结构层悬置于玻璃基底之上；整个上层硅结构层的可动结构由唯一的锚点支撑；上层硅结构层包括固定支撑框架和两个上层硅微机械子结构，分别为第一、第二上层硅微机械子结构，第一、第二上层硅微机械子结构沿竖直方向排列，并且关于上层硅微机械结构中心水平轴对称；第一、第二上层硅微机械子结构形成的差分结构构成一组加速度测量模块。本发明不仅可以有效抑制基底材料和硅材料的材料属性不匹配所带来的影响，而且可以消除键合时产生的残余应力以及环境变化时的热应力。