InGaN/GaN多量子阱绿光发光二极管内量子效率研究进展

摘要

氮化镓基发光二极管（LED）具有绿色环保、节能降耗以及寿命长等优点,广泛应用在半导体照明、户外显示及可见光通信等领域。绿光LED有源区的In组分很高,会导致更高的缺陷密度和更大的极化电场,因此其内量子效率还不到蓝光LED的一半,是三基色照明急需解决的难点。本文对目前提升In Ga N/Ga N多量子阱绿光LED的关键技术和主要进展进行了综述。通过P型层生长工艺优化、变温量子阱及复合缓冲层等技术改善量子阱晶体质量,通过阶梯量子阱结构和半极性In Ga N量子阱生长技术来降低极化电场强度,最终提高绿光LED的内量子效率。