全垂直LED芯片RGB超高清显示屏方案研究

摘要

在硅衬底上通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长氮化镓外延片,经过芯片工艺加工成尺寸在4 mil×4 mil至7 mil×7 mil的蓝绿Mini LED芯片,再匹配普通或反极性红光LED芯片,可以制作全垂直结构LED芯片的超高清全彩显示屏.主要应用在户内外显示、高清娱乐、远程视频会议等场景应用.相较于当前的蓝宝石衬底的蓝绿LED芯片有节省器件空间、生产设备效率高、可靠性好、显示效果优良,可以制作间距在P1.0及以下的超高清显示屏等优点.相同尺寸的垂直结构的mini蓝绿芯片较普通蓝宝石的发光面积要大20％ ～40％,因蓝宝石的N电极要占用芯片发光区面积,而垂直芯片则没有此项面积损失.