阳极腐蚀条件及单晶硅类型对多孔硅光致发光性能的影响

摘要

研究了阳极腐蚀条件及单晶硅的导电类型和掺杂原子浓度等对多孔硅微结构与室温可见区光致发光性能的影响 .结果表明 ,延长腐蚀时间、提高电流密度、降低腐蚀液中氢氟酸浓度 ,都能引起多孔硅发光波长蓝移 ,发光强度的变化则较复杂 ;由轻掺杂硅制备的多孔硅不仅发光效率高 ,而且波长蓝移 ,硅片导电类型对多孔硅发光的影响不显著 .