集成声光芯片技术研究

摘要

设计了包括两只作为准直、聚焦元件的波导短程透镜和两级布拉格声光移频结构的单片集成声光芯片.数值计算了优化理想波导短程透镜的母线函数数值和声光器件的几何参数.在x、y、z方向尺寸分别为46 mm、2.5 mm、30 mm的Ti扩散LiNbO3光波导基片上制作了光纤耦合结构的声光移频芯片.测试短程透镜传输损耗为1.2 dB,衍射光斑半功率点宽度为4.5 μm;与单模光纤的耦合插入损耗小于20 dB;芯片驱动的中心频率为110 MHz;可实现3 dB调制带宽为+10 MHz.