石墨烯反常霍尔效应及碳纳米管场效应晶体管电滞特性磁场调控的研究

目录

声明

第一章 绪论

1.1 引言

1.2碳基材料简介

1.3碳纳米管的分类与晶格结构

1.3.1碳纳米管的分类

1.3.2碳纳米管的手性和晶格结构

1.4单壁碳纳米管的电学性能和场效应晶体管

1.4.1 碳纳米管金属性和半导体性的判定

1.4.2碳纳米管场效应晶体管

1.4.3碳纳米管在集成电路上的应用

1.5碳基自旋电子学的研究进展

1.5.1碳基磁学简介

1.5.2石墨烯自旋电子学

1.5.3碳纳米管自旋电子学

1.6本论文的研究目的和内容

参考文献

第二章 微纳米加工技术

2.1 引言

2.2光学曝光技术

2.3电子束曝光技术

2.4微纳米加工技术在器件方面的应用

参考文献

第三章 石墨烯霍尔器件及其反常霍尔效应

3.1 引言

3.2器件的制备与实验方法

3.2.1器件制备表征及测量设备

3.2.2单层石墨烯霍尔器件制备流程

3.3单层石墨烯霍尔器件性能测试

3.3.1单层石墨烯霍尔器件表征

3.3.2单层石墨烯霍尔器件的电学测试

3.4本章小结

参考文献

第四章 单壁碳纳米管场效应晶体管的电滞特性研究

4.1 引言

4.2 器件制备与实验方法

4.2.1器件制备表征及测量设备

4.2.2单壁碳纳米管的制备

4.2.3单壁碳纳米管晶体管微纳米加工流程

4.3单壁碳纳米管自旋场效应晶体管的器件性能

4.4本章小结

参考文献

第五章 结论

攻读硕士学位期间发表论文

致 谢