Ag纳米粒子共振增强的ZnO基紫外光电探测器的研究

目录

声明

第1章 绪 论

1.1 引言

1.2 ZnO基半导体薄膜及光电探测器简介

1.3 金属局域表面等离激元基础理论简介与应用

1.4 金属局域表面等离子体增强ZnO基紫外光电探测器的研究现状

1.5 ZnO基紫外光电探测器存在的问题

1.6 论文选题依据和主要内容

第2章 ZnO基薄膜及其紫外探测器的制备和表征方法

2.1 ZnO基薄膜的制备方法

2.2 ZnO基紫外光电探测器的制备工艺

2.3 ZnO基薄膜的表征方法

2.3.1 X射线衍射分析(XRD)

2.3.2 吸收和透过光谱(A-T)

2.3.3 扫描电子显微镜(SEM)

2.4 ZnO基探测器的表征方法

2.4.1 暗电流和光电流(I-V)

2.4.2 响应度测试系统

2.4.3 响应时间(I-t)

第3章 Ag纳米粒子表面修饰ZnO基紫外探测器的制备和性能表征

3.1 不同粒径分布密度Ag纳米粒子修饰的ZnO基紫外探测器的制备

3.2 不同粒径分布密度Ag纳米粒子修饰的ZnO基紫外探测器的性能研究

3.3 小结

第4章 Ag纳米粒子包埋修饰ZnO基紫外探测器的制备和性能表征

4.1 多层包埋Ag纳米粒子对ZnO基紫外探测器性能的调控

4.2 基于局域表面等离子体倏逝波传播特性对ZnO基紫外探测器性能的优化

4.3 小结

第5章 Ag纳米粒子修饰的Mg0.24Zn0.76O/ZnO双波段紫外探测器的制备和性能表征

5.1 Ag纳米粒子修饰位置对Mg0.24Zn0.76O/Au/ZnO三明治结构紫外探测器性能的调控

5.2 多层包埋Ag纳米粒子对Mg0.24Zn0.76O/Au/ZnO三明治结构紫外探测器性能的调控

5.3 小结

第6章 结论与展望

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果

致谢