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第一章 绪 论
§ 1.1 概述
§ 1.2 ZnO的基本性质
参考文献
第二章 ZnO薄膜的制备和测试表征方法
§2.1 ZnO薄膜的制备
§ 2.2 本论文中ZnO薄膜微观结构的表征和光学性能测试
§2.3 本章小结
参考文献
第三章 hcp缓冲层对ZnO薄膜微观结构和光学特性的影响
§3.1制备工艺和基本参数
§3.2 hcp缓冲层对ZnO薄膜微结构和光学特性的影响
§3.3 本章小结
参考文献
第四章 Ti缓冲层对ZnO薄膜微观结构和光学特性的影响
§4.1 Ti缓冲层和ZnO薄膜的制备与表征方法
§4.2 Ti缓冲层对ZnO薄膜微观结构和光学特性的影响
§ 4.3 本章小结
参考文献
第五章 Fe掺杂对ZnO薄膜微结构和光学特性影响的研究
§ 5.1 ZnO:Fe薄膜的制备和表征方法
§ 5.2 ZnO:Fe薄膜微观结构的表征及光学特性的研究
§ 5.3 本章小结
参考文献
第六章 总结与展望
§ 6.1 总 结
§ 6.2 展 望
致谢
附录:攻读硕士学位期间发表的论文