Advanced OPC2 Department, CRD Advanced Modules. United Microelectronics Corporation, No. 18, Nan-Ke Rd. 2, Science-Based Industrial Park, Sinshih Township, Tainan County 741, Taiwan, ROC;
NA; low k1; 45nm; RET; contact; splitting pitch;
机译:间距为90 nm的25 nm接触孔的图案化:线/空间双曝光浸没光刻技术和等离子辅助收缩技术的结合
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机译:理解和提高晶圆级芯片秤包的可靠性:基于45NM RFSoI技术的5G应用研究
机译:利用45°sWEpTB确定宽高比4的机翼数量从0.40到0.93的机械臂间距对空气动力学特性的影响研究4