大気圧プラズマ表面科学技術が拓く元気で、明るい日本の未來

摘要

過去40年以上に亘って、低温プラズマ科学技術は、表面処理やデバイス作製プロセスを牽引し、現在の大規模集積回路、太陽電池、機能性デバイスなどほぼ全ての分野を根底から支える最重要科学技術になっている。この流れは、高速かつ大面積処理技術として発展している。一方で、大規模な真空装置を伴う、装置コストの増加が大きな問題となり、低コストのプラズマ装置が強く望まれるに至っている。このような産業界からのニーズを受けて、真空装置を必要としない大気圧下で高速処理ができる低温大気圧プラズマ技術が注目されるようになった。