大気圧マイクロ波プラズマ溶射を用いたセラミックス皮膜の作製および特性評価 N近藤俊樹D豊橋技術科学大学

摘要

低電力溶射による溶射粒子への人熱低減，懸濁液溶射においては分散媒の蒸発効果による分散質への人熱低減の効果を期待し，プラズマからの熱影響を受けやすい二酸化チタン皮膜の作製を試み，その特性評価を行った。実験方法は，大気圧マイクロ波プラズマ装置を用い，マイクロ波は周波数2．45GHzで発振され円筒共振器の中心軸上に配置されたアンテナの先端部にマイクロ波電界が集中する。