「クリーンルーム省エネルギー委員会」製薬産業（工場·研究所）省エネルギー委員会活動報告　（設備エネルギー換算係数）

摘要

(社）日本空気清浄協会のクリーンルーム省エネルギー委員会は，半導体工場の省エネルギー化について検討するために，牡）電子情報技術産業協会（以降JEITA），杜）日本半導体製造装置協会（以降SEAJ）の協力要請により，2000年に設立された。この背景には，増大化する半導体製造に関わるエネルギーに対しJEITA，SEAJは半導体製造装置やこれに付随する補機（以降補機を含め製造装置と言う）に直接投入される電力に着目し省エネルギー対策を実施してきた。半導体製造工場では，製造装置で消費されるエネルギーが全体の約半分，排気，生産冷却水，真空や純水などのユーティリティーの製造。供給に必要なエネルギー，製造装置が設置されるクリーンルームの製造環境を維持するために必要なエネルギー（以降製造装置·補機以外クリーンルームを含めユーティリティーと言う）が残り半分となるので，半導体製造の省エネルギーを図る場合，製造装置以外で消費されるユーティリティーの消費エネルギーも併せ対策を講ずる必要がある。しかし，製造装置からユーティリティーに対し要求される諸量は，例えば，生産冷却水や純水の場合，流量や圧力の単位であるため，生産装置の要求量（電力）とはその単位が異なるためエネルギー評価がこれまで困難であった。