ドライフィルムを用いて微細パターンをレプリカ転写をした複合材料シート

摘要

そのコアテクノロジーとして、単枚のグリーンシートに高アスペクト比の微細パターンを形成する取り組みを行ったので発表する。具体的には、フォトリソグラフィーによってパターンを施したドライフィルムに、銀を顔料とするスラリーをドクターブレード法によってパターンに充填させシート成形をおこなった。ライン／スペースが30μm／50μmの凹凸状のパターンが転写され充填も十分であるシートを得ることが出来た。以下に詳細を記す。