SOI DAWN process; SCS movable platforms; Multi-degrees-of-freedom;
机译:垂直堆叠倒三角形和菱形硅纳米线(1?0)单晶硅晶片的新型制造
机译:使用SOI晶片的Z型臂支撑硅振膜的超小型MEMS麦克风的设计与制造
机译:单晶硅纳米线的新型自上而下晶圆级制造。
机译:SOI晶圆上多程度自由度单晶硅可移动平台的设计和制造
机译:开发用于下一代,更薄,更大晶体硅(c-Si)晶圆的太阳能电池的工业制造工艺。
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:单一(111)-Silicon晶片中单整体集成的三轴高冲击仪的整体集成三轴高冲击仪的设计,制造和测试
机译:单晶的生长和GaN和alN晶片的制备