Variable-capacitance micromotor; Microball bearings; Benzocyclobutene; BCB;
机译:带有微球轴承的带有聚合物介电膜的静电微机,用于机电功率转换
机译:微球轴承支撑的线性静电微电机的动态特性
机译:基于铁电陶瓷的线性静电微电机
机译:具有苯并环丁烯聚合物绝缘层的微轴承支撑的线性静电微量运动
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:基于柔性热传感器有机场效应研究具有聚合物通道/栅极绝缘和阻光功能的晶体管层数
机译:用于线性静电微电机的电容位置传感系统和电子设备