acceleration measurement; accelerometers; bubbles; flow; heat transfer; micromachining; microsensors; sensitivity; vaporisation; fluid flow behavior; heat transfer; high flux heater; liquid vaporization; micro-chamber; micromachined accelerometer; thermal-bubble-based;
机译:一种新型的基于热气泡的微机械加速度计
机译:微机械介入光学加速度计的回顾:从MG到Sub-μg
机译:微机械介入光学加速度计的回顾:从MG到Sub-μg
机译:基于热气泡的微机械加速度计的设计
机译:微机械电容式加速度计的设计与制造。
机译:基于隧穿磁阻效应的新型微机械Z轴扭转加速度计
机译:一种新型基于热气泡的微机械加速度计