Electrostatic actuation; Position sense; Parallel-plate actuator; Pull-in;
机译:静电平行板致动器在液体溶液中的稳定性和吸合电压
机译:抑制在介电液体中运行的平行板静电执行器的拉入不稳定性
机译:平行板和扭转静电MEMS执行器的动态吸合
机译:用于稳定平行板致动器的谐振驱动器超出拉伸点
机译:静电梳齿驱动器,用于谐振传感器和执行器应用。
机译:悬浮微通道谐振传感器在静电作用下的吸合效应
机译:平行板静电致动器中的共振拉管状态