Low-k; Copper CMP; Film adhesion;
机译:铜/低k金属化的新工艺技术-无磨铜CMP(AFP)和新的低k材料:甲基硅碳氧化物(MTES)
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机译:铜/低k金属化的新工艺技术 - 无磨料的铜CMP(AFP)和新的低k材料:甲基 - 硅 - 氧化物(MTES)
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机译:从铜镍矿库存排水中低成本去除痕量金属。第2卷。泥炭,其他有机物,尾矿和土壤的痕量金属封存:文献综述