EUV lithography; local contact-hole uniformity; printability limits; photon shot noise; NILS;
机译:EUV光刻中的随机效应:随机,局部CD可变性和印刷失败
机译:EUV投票制版光刻技术可减轻印刷掩模缺陷,改善CDU并减少随机故障
机译:改善EUV随机材料的图案化材料挑战
机译:用EUV光刻在5 nm逻辑过程中典型设计规则模式和随机印刷故障的仿真研究
机译:EUV光刻系统幅度和相位瞳孔变化的测量
机译:高敏感性抗蚀性对EUV光刻进行抗衡性:材料设计策略和绩效结果综述
机译:EUV光刻的幻影图案掩模缺陷检测
机译:光化掩模成像:sHaRp EUV显微镜的最新结果和未来方向。会议:极紫外(EUV)光刻V,加利福尼亚州圣何塞,2014年2月23日;相关信息:期刊出版日期:2014年4月17日。