EUV lithography; phase-shift masks; actinic characterization;
机译:使用Fabry-Perot干涉滤光片的用于极端紫外光刻的混合型衰减相移掩模的光学设计
机译:使用极紫外显微镜评估多层相缺陷上的极紫外光刻掩模吸收体图案
机译:带有遮光边框的薄吸收剂极紫外光刻掩模,适用于全视场扫描仪:掩模工艺会改变平整度和图像放置
机译:极紫外光刻的相移掩模演示
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:迈向极紫外光刻的高精度反射计
机译:极端紫外线光刻掩模坯料中相缺陷的修复