University of Central Florida.;
机译:13.5 nm的强等离子体放电源,用于极紫外光刻
机译:激光生产的基于等离子体的极紫外光源技术,用于大批量制造极紫外光刻
机译:在10-16 nm波长范围内的强氙气毛细管放电极紫外光源
机译:Xe填充的毛细管Z捏放电光源,用于极紫外(EUV)光刻
机译:高峰值功率光纤激光器技术,用于激光产生的等离子体极紫外光刻。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:用于极端紫外线光刻的135nm强度等离子体放电源