Silicon; Micromechanical devices; Jacobian matrices; Electrodes; Micromotors;
机译:使用金刚石切割工具的微透镜阵列模具的超精密加工
机译:用于KDP晶体加工的超精密金刚石飞切机床上的外部空气动力
机译:一种用于KDP晶体加工的超精密飞刀机床的设计理念及其在结构设计上的实现
机译:一种用于微型加工切削刀具的新型三维超高精度定位平台
机译:材料角度和切削刃半径对超精密加工过程的影响
机译:使用旋转超声波加工在Ti6Al4V中钻高精度孔以及切削力工具磨损和生产误差的潜在不确定性
机译:超精密加工光学精密测量中使用的极性微结构加工切割策略的研究