Faculty of Engineering, Kobe University Rokko-dai 1-1, Nada, Kobe 657-8501, JAPAN;
机译:带自旋涂层聚酰亚胺薄膜的低通量原子氧束的表面反应:翻译能量依赖于反应效率
机译:低通量原子氧束与旋涂聚酰亚胺薄膜的表面反应:原子氧与紫外线的协同作用
机译:旋涂聚酰亚胺薄膜对低通量原子氧束的表面反应:同时照射紫外线的影响
机译:原子氧与旋涂聚酰亚胺膜的表面反应:反应效率的温度依赖性
机译:研究硅衬底上的氧化物,硅化物和氮化物薄膜原子层沉积中的初始表面反应。
机译:使用顺序表面反应在室温和100°C下电子增强结晶氮化镓薄膜的生长
机译:低焊剂原子氧气光束具有旋涂聚酰亚胺膜的表面反应:平移能量依赖反应效率。