ARKEMA FRANCE, Route Nationale 117, BP34- 64170 Lacq, France,CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex 9, France;
ARKEMA FRANCE, Route Nationale 117, BP34- 64170 Lacq, France,LCPO-UMR 5629 Universite Bordeaux I-CNRS, 33405 Talence cedex, France;
CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex 9, France;
CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex 9, France;
CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex 9, France;
CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex 9, France;
LTM-CNRS, CEA, LETI, 17 Rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex, France;
LTM-CNRS, CEA, LETI, 17 Rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex, France;
LCPO-UMR 5629 Universite Bordeaux I-CNRS, 33405 Talence cedex, France;
LCPO-UMR 5629 Universite Bordeaux I-CNRS, 33405 Talence cedex, France;
ARKEMA FRANCE, Route Nationale 117, BP34- 64170 Lacq, France;
lithography; block-copolymer; self-assembly; PS-b-PMMA; graphoepitaxy;
机译:用于光刻的高纵横比PS-b-PMMA嵌段共聚物掩模
机译:通过快速热处理通过摩尔质量不同的PS-b-PMMA薄膜微调光刻掩模
机译:无规共聚物对圆柱型PS-b-PMMA薄膜特征尺寸的影响
机译:高分辨率PS-b-PMMA嵌段共聚物的自组装:工艺能力和在300mm轨道上的集成
机译:光刻图案化和自折叠的生物折纸支架,用于三维细胞培养。
机译:通过基于普鲁尼克嵌段共聚物的富集方法分析血浆细胞外囊泡揭示了与乳腺癌侵袭转移和侵袭相关的特征
机译:提高溶剂退火嵌段共聚物薄膜的有序动力学 光刻硬掩模支持