MEMS工艺在小孔径微穿孔板制作中的应用

摘要

本文详细介绍了基于MEMS 工艺的小孔径(<100um)微穿孔板的制作。微穿孔板被广泛应用于噪声控制工程中，理论表明，适当减小微穿孔板的孔径可拓宽微穿孔板吸声体的吸声带宽，甚至达到其带宽极限，但限于传统加工工艺如机械冲孔等对小孔径的加工难度，孔径小于100um的微穿孔板尚未见报道，因此无法从实验上验证上述理论。本文采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀实现了对100um 以下小孔径微穿孔板的精准加工，并在驻波管中测试了其吸声系数，与基于微穿孔板吸声体基本理论计算的数值仿真结果进行对比发现，仿真结果与实验结果较吻合，从实验上验证了减小微穿孔板孔径可拓宽其吸声带宽的理论。