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厚膜光刻胶和阳离子光固化材料

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摘要

随着MEMS技术的发展,开发出用于MEMS制造的厚膜光刻胶十分重要.阳离子光固化体系因其无氧干扰,聚合反应不易终止等特点,适合作为厚膜光刻胶的组成材料.本文介绍了目前已商品化的厚膜光刻胶,对其树脂结构及感光机理进行了概述,同时对适用于厚膜光刻胶的阳离子光固化材料进行了介绍.

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来源
《2015全国非银盐成像材料及光刻胶发展论坛》|2015年|144-150|共7页
会议地点苏州
作者
郭晔嘉; 邹应全; 庞玉莲;
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作者单位

中国感光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ577.35;
关键词
厚膜光刻胶; 阳离子光固化材料; 树脂结构; 感光机理;

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