上海新阳自研 KrF(248nm)厚膜光刻胶产品取得第一笔订单

摘要

日前,上海新阳发布公告,宣布其自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶产品已通过客户认证,并成功 取得第一笔订单。上海新阳表示,KrF(248nm)厚膜光刻胶产品的开发和产业化是其第三大核心技术-- -光刻技术的重要方向之一,本次产品认证的通过及订单的取得,标志着“KrF(248nm)厚膜光刻胶产品的 开发和产业化”取得了成功,为其在光刻技术领域目标的全面完成奠定了坚实基础。