首页> 中文会议>第八届华东三省一市真空学术交流会 >ITO高阻薄膜的制备及光电特性研究

ITO高阻薄膜的制备及光电特性研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用直流磁控溅射法在玻璃基板上制备ITO薄膜,研究了溅射功率、溅射时间、溅射气压等工艺条件对ITO薄膜的方阻和透过率的影响.并在溅射功率45W,溅射时间3min,溅射气压3Pa的工艺条件下得到了我们所需要的高阻薄膜,其方阻为2.873MΩ/sq,对550hm可见光的透过率为96.466％.

著录项

来源
《第八届华东三省一市真空学术交流会》|2013年|184-189|共6页
会议地点合肥
作者
Dong-ping Li; 李东平; Qing Li; 李青;
展开▼
作者单位

安徽省真空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.21;
关键词
铟锡氧化物薄膜; 制备工艺; 光电特性; 参数优化;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 透明导电ITO薄膜的制备及光电特性的研究 [J] . 曹延军 . 新技术新工艺 . 2011,第004期
2. 低温ITO薄膜制备及光电特性的研究 [J] . 林钰 ,李慧灵 ,王宇婷 . 河南教育学院学报（自然科学版） . 2010,第002期
3. 溶胶-凝胶法制备ITO薄膜及其光电特性研究 [J] . 潘洪涛 ,周炳卿 ,陈霞 . 内蒙古师范大学学报（自然科学汉文版） . 2008,第005期
4. ITO薄膜的制备及其光电特性研究 [J] . 辛荣生 ,林钰 . 电子元件与材料 . 2005,第009期
5. ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究 [J] . 马颖 ,张方辉 ,靳宝安 . 液晶与显示 . 2004,第005期
6. 热处理对溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的光电特性的影响 [C] . 张丽丽 ,周炳卿 ,张林睿 . 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会（CPVC12） . 2012
7. 透明导电氧化物ITO薄膜与ITO/Au复合结构的制备及光电特性研究 [A] . 方旭 . 2016

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号