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先进控制在三氯氢硅精馏过程中的应用

摘要

介绍了三氯氢硅精馏工序工艺简介,三氯氢硅精馏工序的先进控制,先进控制的实现,项目实施效果,内蒙古神舟硅业有限责任公司(以下简称神舟硅业)多晶硅生产过程采用的是改良的西门子法工艺,该工艺主要包括三氯氢硅的合成、三氯氢硅的精馏提纯、三氯氢硅的氢还原、尾气的回收和四氯化硅的氢化等5个环节.

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