三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝、再沸系统及方法

摘要

本发明涉及一种三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝、再沸系统，塔顶冷凝器的冷却介质采用液态三氯氢硅或液态四氯化硅或液态二氯氢硅作冷却介质；塔底再沸器采用三氯氢硅高温蒸汽或四氯化硅高温蒸汽或二氯氢硅高温蒸汽作加热介质。加热介质的进口温度比待加热的塔底液体要高。通过加热介质的加热，塔底的三氯氢硅液体被加热为气相，一部分回到精馏塔内，另一部分采出至下一工段；加热介质被冷却，由于加热介质的冷凝点较低，在此过程中，加热介质会发生相变，变为液态，从而放出大量热量。避免了在生产过程中可能出现的冷凝器或再沸器内部泄露而发生反应生成盐酸，降低了设备维修成本和停车维修造成的经济损失，避免了可能发生的人员伤亡。