可变矩形电子束曝光机光阑形态的调整

摘要

介绍利用自行设计的检测图形，检测可变矩形束曝光机成形光阑形态，描述了成形光阑的调整方法，而成形光阑形态、位置的正确与否直接关系到器件和电路芯的制作质量。通过大量实验检测证实，应用此检测图形检测快捷、使用方便、检测精度高。