黄绿光AlGaInP发光二极管亮度提升与可靠性改善

摘要

本文介绍了三安光电公司研发和生产的黄绿光发光二极管芯片产品产业化技术,采用多项先进工艺和质量控制技术,使得生产的四元混晶发光二极管外延片和芯片具有良好的性能,其中关键在于透过调整多量子阱结构的铝组份,以及提高多量子阱的成长温度,降低成长时的杂质浓度的技术,使得所生产的四元混晶发光二极管芯片展现出高亮度与高可靠性的特质,透过这些技术,封装后的四元混晶发光二极管亮度提升26％,针对生产工艺的特点,本文探讨产业化生产的关键工序、生产过程质量控制点以及质量控制关键参数等,提出了切实有效的生产过程质量控制方法并付诸实践.