公开/公告号US11306391B2
专利类型
公开/公告日2022-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 IONQUEST CORP.;
申请/专利号US202017124749
申请日2020-12-17
分类号C23C14/34;C23C14/35;C23C16/505;H01J37/34;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;H01J37/32;C23C14;C23C14/06;C23C14/14;
国家 US
入库时间 2022-08-25 00:34:22