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MULTI-LAYER SILICON NITRIDE WAVEGUIDE BASED INTEGRATED PHOTONICS OPTICAL GYROSCOPE CHIP

机译:基于多层氮化硅的基于集成光子光学陀螺仪芯片

摘要

An integrated photonics optical gyroscope fabricated on a silicon nitride (SiN) waveguide platform comprises a first portion with silicon nitride (SiN) waveguides that constitute a rotation sensing element; and, a second portion with additional silicon nitride (SiN) waveguide-based optical components that constitute a front-end chip to launch light into and receive light from the rotation sensing element. The two portions can be stacked together to have a multi-layer configuration vertically coupled with each other. External elements (e.g., laser, detectors, phase shifter) may be made of different material platform than SiN and can be hybridly integrated to the SiN waveguide platform.
机译:在氮化硅(SiN)波导平台上制造的集成光子学光学陀螺仪包括具有构成旋转传感元件的氮化硅(SiN)波导的第一部分;并且,具有额外的氮化硅(SiN)波导的光学组件的第二部分,其构成前端芯片以启动光进入并从旋转感测元件接收光。两个部分可以堆叠在一起以具有彼此垂直耦合的多层配置。外部元件(例如,激光,探测器,移相器)可以由不同的材料平台制成而不是SIN,并且可以与SIN波导平台杂交集成。

著录项

  • 公开/公告号US2021140768A1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-05-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ANELLO PHOTONICS INC.;

    申请/专利号US202017095272

  • 发明设计人 MARIO PANICCIA;

    申请日2020-11-11

  • 分类号G01C19/72;G02B6/12;G02B6/13;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-24 18:40:35

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