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机译:用于3-D光子电路和装置的单片集成多层氮化硅对硅波导平台
Wesley D. Sacher; Jared C. Mikkelsen; Ying Huang; Jason C. C. Mak; Zheng Yong; Xianshu Luo; Yu Li; Patrick Dumais; Jia Jiang; Dominic Goodwill; Eric Bernier; Patrick Guo-Qiang Lo; Joyce K. S. Poon;
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