首页> 外国专利> method for under reduced pressure epitaxiale grow from a thin layer of a compound of the type iii (a) - v (a) of the periodic system of elements and halfgeleiderinrichting,obtained by applying this method.

method for under reduced pressure epitaxiale grow from a thin layer of a compound of the type iii (a) - v (a) of the periodic system of elements and halfgeleiderinrichting,obtained by applying this method.

机译:在减压下外延生长的方法是从薄的元素周期表中的iii(a)-v(a)型化合物的层中生长,并通过应用该方法获得的。

摘要

1,270,550. Semi-conductor device manufacture. WESTERN ELECTRIC CO. Inc. 22 Dec., 1969 [27 Dec., 1968], No. 62287/69. Heading H1K. [Also in Divisions C1 and C7] An epitaxial film of Group III(a) and V(a) elements (Mendelyeev Table given in the Handbook of Chemistry and Physics) is deposited on a substrate of e.g. Si, Ge, gallium arsenide, phosphide or arsenic phosphide, indium arsenide or phosphide or sapphire. Examples of the film are (1) gallium arsenide, (2) gallium phosphide, (3) Ga.As 0 . 25 P 0 . 75 , (4) gallium arsenide with Zn, 'and (5) Gallium arsenide with Te.
机译:1,270,550。半导体器件制造。 WESTERN ELECTRIC CO。Inc. 1969年12月22日[1968年12月27日],编号62287/69。标题H1K。 [也在C1和C7区中]将III(a)族和V(a)族元素的外延膜(在化学和物理手册中给出的孟德尔耶夫表)沉积在例如硅酸盐的衬底上。 Si,Ge,砷化镓,磷化物或磷化砷,砷化铟或磷化物或蓝宝石。膜的实例是(1)砷化镓,(2)磷化镓,(3)Ga.As 0。 25 P 0。 75,(4)砷化镓与Zn,和(5)砷化镓与Te。

著录项

  • 公开/公告号NL168892B

    专利类型

  • 公开/公告日1981-12-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利号NL19690019180

  • 发明设计人

    申请日1969-12-22

  • 分类号C30B23/02;H01L21/20;

  • 国家 NL

  • 入库时间 2022-08-22 13:43:45

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