公开/公告号DE3804121A1
专利类型
公开/公告日1988-11-10
原文格式PDF
申请/专利号DE19883804121
发明设计人 PRIETZSCH DIETER DIPL.-ING. DDR 1170 BERLIN DD;EICHLER RUEDIGER DIPL.-ING. DDR 1095 BERLIN DD;LANGE LUTZ DIPL.-PHYS. DDR 1142 BERLIN DD;
申请日1988-02-11
分类号G05D3/12;B25J9/00;H01L21/68;H05K13/02;H01L21/58;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 06:51:43