机译:硅团簇超晶格和硅团簇超晶格的生产方法,硅团簇的生产方法,硅团簇超晶格结构和硅团簇超晶格结构的生产方法,半导体器件和量子器件
公开/公告号JPWO2003026017A1
专利类型
公开/公告日2005-01-06
原文格式PDF
申请/专利权人 財団法人新産業創造研究機構;
申请/专利号JP20030529532
申请日2002-09-13
分类号H01L29/06;B82B1/00;C01B33/02;C23C14/10;C30B29/06;C30B29/68;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:26:19