机译:多个小室关闭状态检查方法,涉及通过梳状结构体的端面之一向小室内部供给气体,并测量例如小室的状态。单元的压力,用于估计表面上单元的闭合状态
公开/公告号DE102007000476A1
专利类型
公开/公告日2008-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 DENSO CORPORATION;
申请/专利号DE20071000476
发明设计人 MIYAMURA YASUSHI;
申请日2007-08-30
分类号G01M19;F01N11;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:49:28