要解决的问题:通过用简单的结构一次在多个测量点进行测量,最大程度地减少了温度测量所需的劳力,时间和成本。
解决方案:该设备包括光源110;光源110和光源110。第一分离器120用于将来自光源的光分离为用于温度测量的光和参考光。第二分离器130用于将测量光分成数量为n的第一至第n测量光。参考光反射装置140,用于反射参考光。驱动装置142,用于通过驱动基准光反射装置来改变反射的基准光的光路长度。光接收装置150,其用于测量从温度测量对象T反射的第一至第n测量光与从参考光反射装置反射的参考光之间的干涉。从第二分离器到物体T的第一至第n测量光的每个光路长度分别彼此不同。
版权:(C)2006,JPO&NCIPI
公开/公告号JP4756845B2
专利类型
公开/公告日2011-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 東京エレクトロン株式会社;
申请/专利号JP20040297877
申请日2004-10-12
分类号G01K11/12;H01L21/66;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:20:25