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Method and system for providing an NFT using a sacrificial NFT structure

机译:使用牺牲NFT结构提供NFT的方法和系统

摘要

A method and system provides a near-field transducer (NFT) for an energy assisted magnetic recording (EAMR) transducer. The method and system include forming a sacrificial NFT structure having a shape a location corresponding to the NFT. A dielectric layer is deposited. A portion of the dielectric layer resides on the sacrificial NFT structure. At least this portion of the dielectric layer on the sacrificial structure is removed. The sacrificial NFT structure is removed, exposing an NFT trench in the dielectric layer. At least one conductive layer for the NFT is deposited. A first portion of the conductive layer(s) reside in the NFT trench. A second portion of the conductive layer(s) external to the NFT trench is removed to form the NFT.
机译:一种方法和系统提供了用于能量辅助磁记录(EAMR)换能器的近场换能器(NFT)。该方法和系统包括形成具有形状对应于NFT的位置的牺牲NFT结构。沉积介电层。介电层的一部分位于牺牲NFT结构上。牺牲结构上的介电层的至少该部分被去除。牺牲NFT结构被去除,从而在电介质层中暴露出NFT沟槽。沉积用于NFT的至少一个导电层。导电层的第一部分位于NFT沟槽中。 NFT沟槽外部的导电层的第二部分被去除以形成NFT。

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