机译:用于光学用途的陶瓷材料的热处理设备,用于光学用途的陶瓷材料的热处理方法,用于合成石英玻璃的热处理方法,用于制造光学系统的方法以及用于制造曝光设备的方法
公开/公告号EP2682373A4
专利类型
公开/公告日2014-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 NIKON CORPORATION;
申请/专利号EP20120752504
发明设计人 HARA YUTA;
申请日2012-03-02
分类号C03B20;C03B32;G02B1/02;H01L21/027;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 15:47:23