公开/公告号JP2016119428A
专利类型
公开/公告日2016-06-30
原文格式PDF
申请/专利权人 JAPAN FINE CERAMICS CENTER;NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY;
申请/专利号JP20140259658
申请日2014-12-24
分类号H01L21/306;H01L21/205;C30B29/04;C01B31/06;A44C27/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:44:42