公开/公告号US9245744B2
专利类型
公开/公告日2016-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 INTERMOLECULAR INC.;
申请/专利号US201414253712
申请日2014-04-15
分类号C23C16/50;C23C16/509;H01L21/02;C23C16/44;C23C16/455;H01J37/32;C23C16/02;C23C16/458;H01L21/67;H01L21/3065;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:29:22