公开/公告号EP2027306B1
专利类型
公开/公告日2017-08-02
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC;
申请/专利号EP20070776653
发明设计人 KUMAR AJAY;GRIMBERGEN MICHAEL N.;KOCH RENEE;IBRAHIM IBRAHIM M.;LEWINGTON RICHARD;CHANDRACHOOD MADHAVI R.;PANAYIL SHEEBA J.;BIVENS DARIN;
申请日2007-05-02
分类号H01L21/67;H01J37/32;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 14:07:39