公开/公告号JP2017043495A
专利类型
公开/公告日2017-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 FUJITSU LTD;
申请/专利号JP20150164406
发明设计人 YAMAGUCHI JUNICHI;
申请日2015-08-24
分类号C01B32/15;C01B32/18;C01B32/182;H01L21/329;H01L29/88;H01L29/06;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40;B82Y10/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:00:11