公开/公告号US9947645B2
专利类型
公开/公告日2018-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE. LTD.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;RENESAS ELECTRONICS CORPORATION;
申请/专利号US201514751170
申请日2015-06-26
分类号G06F17/50;H01L27/02;H01L21/66;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:59:00