公开/公告号US2019157169A1
专利类型
公开/公告日2019-05-23
原文格式PDF
申请/专利号US201916255211
发明设计人 TIM A. BARTSCH;JENNIFER BENNETT;JAMES D. BIELICK;DAVID J. BRAUN;JOHN R. DANGLER;STEPHEN M. HUGO;THERON L. LEWIS;TIMOTHY P. YOUNGER;
申请日2019-01-23
分类号H01L21/66;H01L21/48;G01N21/95;H01L23;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:08:24