机译:用于对化学放大抗蚀剂膜进行图案形成的有机处理液,用于对化学放大抗蚀剂膜进行图案形成的有机处理液的容器,图案形成方法,电子设备的制造方法以及使用该电子设备的电子设备
公开/公告号IL238445A
专利类型
公开/公告日2020-06-30
原文格式PDF
申请/专利权人 FUJIFILM CORPORATION;
申请/专利号IL20150238445
发明设计人
申请日2015-04-26
分类号B65D81/24;G03F7/30;G03F7/32;
国家 IL
入库时间 2022-08-21 11:17:20